FABRIKASI SENSOR pH MENGGUNAKAN BAHAN TITANIUM DIOKSIDA (TiO2) DAN PERAK KLORIDA (AgCl) DENGAN METODE SPIN COATING - Nainaufal Hidayah; Eka Maulana; Onny Setyawati (Jurnal Mahasiswa TEUB, 2017)
Perkembangan sensor berbasis film tebal dengan menggunakan alternatif bahan baru belum mengalami kemajuan signifikan, terutama sensor pH. Penelitian ini bertujuan untuk mengembangkan performa sensor pH berbasis mikrofabrikasi film tebal dengan metode spin coating, sehingga mampu menghasilkan keluaran linier. Material yang digunakan antara lain AgCl sebagai elektroda referensi dengan ukuran partikel sebesar 10 µm dan TiO2 sebagai elektroda kerja dengan Al2O3 sebagai substratnya. Sensor yang difabrikasi memiliki tiga desain dengan jarak elektroda 1,5, 1 dan 0,5 mm. Pengujian dilakukan dalam suhu ruangan dengan parameter yang diamati berupa tegangan dan arus keluaran dari sensor pH yang digunakan untuk menghitung sensitivitas sensor. Dari hasil penelitian diperoleh bahwa sensor pH dengan jarak elektroda 1,5 mm memiliki sensitivitas -40,586mV/pH, jarak 1 mm -45,229mV/pH, dan jarak elektroda 0,5 mm memiliki senstivitas sebesar -29,486mV/pH. Kata Kunci: Elektroda referensi, elektroda kerja, linieritas, sensitivitas, ketidakpastian