PENGARUH KECEPATAN DAN WAKTU PUTAR SPIN COATING TERHADAP KETEBALAN LAPISAN TIPIS MATERIAL BERBASIS POLIMER PMMA (POLYMETHYL METHACRYLATE ) - AZKA SARIROH (Inovasi Fisika Indonesia, 2018)
Abstrak Untuk mencapai ketebalan yang optimal dari lapisan tipis material polimer, kami mencoba membuat lapisan tipis Polymethyl Methacrylate (PMMA). Spin coating sebagai salah satu metode yang digunakan untuk membuat lapisan tipis dengan aplikasi ke depan sebagai pandu gelombang optik. Lapisan tipis Polymethyl Methacrylate diendapkan pada substrat kaca dengan teknik spin coating. Struktur lapisan tipis dipastikan terbentuk pada subtrat kaca pada kecepatan putar mulai dari 1000 – 3000 rpm dengan waktu putar 30, 60 dan 90 detik. Ukuran ketebalan lapisan tipis diperkirakan ≈82.8 - 81.2 nm dari analisis Elipsometer. Studi properti lapisan tipis berbasis bahan polimer ini menunjukkan nilai ketebalan film tipis ini mengalami penurunan seiring dengan bertambahnya kecepatan dan waktu putar spin coating. Jadi penelitian menunjukkan bahwa lapisan tipis Polymethyl Methacrylate pada subtrat kaca bisa menjadi bahan yang sesuai untuk digunakan dalam pengembangan pandu gelombang optik. Kata Kunci : Lapisan tipis, Ketebalan, PMMA. Abstract We tried to make a thin film of Polymethyl Methacrylate (PMMA) to achieve the optimum thickness of the polymeric thin film. Spin coating as one of the methods used to create a thin film with the application forward as an optical waveguide. A thin film of Polymethyl Methacrylate is deposited on a glass substrate by a spin coating technique. Thin film structures are ensured to form on glass substrate at a rotational speed ranging from 1000 - 3000 rpm with 30, 60 and 90 second rotation times. The size of the thin film thickness is estimated to be ≈82.8 - 81.2 nm from the Ellipometer analysis. The study of the polymer-based thin film properties shows the value of thin film thickness is decreased with increasing spin coating speed and spin time. So research shows that a thin layer of Polymethyl Methacrylate on glass substrate could be an appropriate material for use in the development of optical waveguides. Keywords : Thin film, thickness, PMMA