MENYOAL URGENSI UJI PROFISIENSI NANOMETROLOGI DIMENSI DI INDONESIA - Nur Tjahyo Eka Darmayanti; Asep Ridwan Nugraha; Diina Qiyaman; Ardi Rahman (Instrumentasi, 2018)
Nanoteknologi dan nanometrologi adalah dua bidang keilmuan yang tidak bisa dipisahkan. Perkembangan pesat pada penelitian yang menghasilkan produk nanoteknologi tentunya membutuhkan nanometrologi untuk menjamin kontrol kualitasnya. Tren pengembangan nanoteknologi saat ini terus naik baik di dunia maupun di Indonesia. Indonesia sebagai negara dengan potensi pasar yang besar, memiliki bahan baku untuk memproduksi material nano. Hal ini menjadikan Indonesia memiliki posisi yang diperhitungkan di dunia. Puslit Metrologi LIPI sebagai lembaga metrologi nasional memiliki peran untuk mengembangkan ketertelusuran nanometrologi di Indonesia. Di dalam makalah ini dibahas mengenai pentingnya uji profisiensi pada bidang nanometrologi. Uji profisiensi dilakukan mengacu pada uji banding yang dilakukan negara - negara yang tergabung dalam BIPM, terdiri dari berbagai jenis artefak, yaitu: line width standards, step height standards, line scales, 1D gratings, 2D grating dan nano particle. Di Indonesia, kelompok penelitian nanometrologi dari Puslit Metrologi LIPI menyelenggarakan uji banding untuk menguji validitas alat ukur nano yang digunakan di institusi penelitian. Berdasarkan hasil penelitian sebelumnya, uji banding dilakukan pada alat ukur SEM yang paling banyak digunakan, dan penjaminan ketertelusuran nanometrologi dilakukan dalam bidang dimensi. Uji banding dirancang mengacu pada pengujian yang dilakukan Working Group CCL Nano4.