PENGGUNAAN METODE SPUTTERING UNTUK PERLINDUNGAN TERHADAP LOGAM - Sutrisno Sutrisno (JURNAL FOUNDRY, 2014)
Pemilihan material didalam perancangan komponen mesin mutlak diperlukan. Material yang dipilah harus memenuhi beberapa syarat yang dibutuhkan misalnya: tahan korosi, kuat, tahan terhadap keausan dan lain-lain sesuai dengan kebutuhan. Atas dasar dari berbagai keadaan tersebut maka dibutuhkan suatu teknik untuk meningkatkan kemampuan dari suatu material. Salah satu dari teknik peningkatan kualitas suatu material adalah dengan proses surface treatment (perlakuan permukaan). Salah satu metode perlakuan permukaan adalah metode sputtering. Sputtering merupakan salah satu metode yang termasuk dalam golongan physical vapor deposition (PVD). Pada proses PVD ini suatu material diubah menjadi phase uap (vapor phase) didalam ruang vakum dan dikondensasikan pada permukaan subtract. Selain sputtering jenis-jenis PVD yang lain adalah: vacuum evaporation, gas scattering deposition dan ion implantation. Pada umumnya proses sputtering tidak memerlukan finhising lagi. Metode sputtering telah abnyak diaplikaskan dalam berbagai bidang, antara lain: aero space, transportasi, medis, elektronika, dekoratif, energy, wear coatings, optic.