FABRIKASI DAN KARAKTERISASI SENSOR KONDUKTIVITAS BERBASIS TEKNOLOGI FILM TEBAL UNTUK ANALISIS KUALITAS AIR - Rama, Beni; Wiranto, Goib; Rusdiana, Dadi (ISSN)
Teknologi film tebal merupakan salah satu teknik dalam fabrikasi komponen-komponen mikroelektrik. Dengan teknologi ini, ukuran komponen-komponen elektronik dapat dibuat menjadi lebih kecil tanpa mengurangi kemampuannya. Dalam penelitian ini dibuat sensor konduktivitas air yang berbasis teknologi film tebal dengan metode screen printing. Elektroda sensor konduktivitas dibuat dari bahan AgPd yang merupakan konduktor yang cukup baik. Elektroda dilapisi pada substrat Alumina 96% dengan konstanta sel desain sekitar 50 cm-1 . Agar pengukuran konduktivitas menjadi lebih valid, sensor temperatur yang elektrodanya terbuat dari campuran Ru-based dengan Polyethilene Glycol diintegrasikan dengan sensor konduktivitas dan ditempatkan pada sisi substrate yang lain. Jenis sensor temperatur yang dibuat merupakan jenis RTD (Resistance Temperatur Detector) dengan sensitivitas sebesar 0,0014 kÎ©/Â°C. Sensitivitas sensor temperatur dengan elektroda campuran PEG denga Ru-based lebih besar dari pada sensor temperatur dengan elektroda berbahan Ru-based saja yang memiliki sensitivitas 0,0002 kÎ©/Â°C. Persamaan konduktansi terukur sensor (C) dengan konduktivitas larutan uji (Ï) dapat dinyatakan sebagai C = (1,6707Ï + 0,0268) mS. Dari persamaan tersebut didapatkan sensitivitas sensor sebesar 1,6707 cm serta nilai konstanta sel pengukuran sekitar 0,6 cm-1. Kemudian waktu yang dibutuhkan sensor agar pengukuran benar-benar stabil ialah empat menit. Sensor dapat merespon perubahan temperatur dengan baik. Dengan menggunakan persamaan hubungan antara konduktansi (C) terukur dengan temperatur (T) yaitu C = (0,0056T + 0,0733) mS serta konduktansi acuan 0,211 mS, faktor kompensasi temperatur (Î±) larutan uji KCl yang diperoleh ialah 2,65%/Â°C. Nilai ini sesuai dengan referensi yang menyatakan nilai Î± larutan garam berada pada rentang 2,2-3%/Â°C.