KARAKTERISASI FREKUENSI HARMONISA SENSOR QUARTZ CRYSTAL MICROBALANCE SEBAGAI IDENTIFIKASI GAS - Rouhillah Rouhillah; Muhammad Rivai; Tri Arief Sardjono (SENTIA 2015, 2015)
Penggunaan sensor yang mampu untuk mengidentifikasi jenis gas sangat dibutuhkan di industri. Salah satunya adalah sensor Quartz Crystal Microbalance (QCM) yang dapat menghasilkan frekuensi resonansi konstan. Pada umumnya sensor QCM masih menggunakan frekuensi dasar resonansi sehingga tingkat sensitivitas masih rendah. Dengan mengambil frekuensi harmonisa dari frekuensi resonansi dasar maka dapat meningkatkan sensitivitas dan selektivitas. Pada penelitian ini dihasilkan rangkaian osilator frekuensi harmonisa 3fo yang dapat bekerja dengan baik saat identifikasi jenis gas. Sensitivitas sensor QCM yang menggunakan frekuensi harmonisa 3fo dievaluasi dengan memantau perubahan frekuensi pada konsentrasi gas yang berbeda, seperti alkohol, 2-propanol, dan kloroform. Deret sensor yang dilapisi material kimia yang berbeda, menghasilkan pola output dari respon frekuensi yang berbeda-beda. Pengukuran juga dilakukan terhadap perubahan kelembaban sebesar 27-74% RH dan perubahan konsentrasi 1-4 ml gas yang diujikan. Hasil percobaan menunjukkan bahwa sensor QCM berfrekuensi harmonisa 3fo menghasilkan sensitivitas dan selektivitas yang lebih baik dari pada frekuensi dasar sensor. Untuk frekuensi 5MHz sensor QCM dalam pengenalan jenis gas memperoleh tingkat keberhasilan sebesar 73.33%, sedangkan untuk frekuensi harmonisa 3fo memperoleh tingkat keberhasilan sebesar 86.67%.