Pengaruh Tekanan Parsial Oksigen Terhadap Koefisien Absorpsi Lapisan Tipis Indium Tin Oxide (ITO) - Muslimin, Muslimin (Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam Universitas Negeri Makassar, 2012)
DOWNLOAD PDFProses absorpsi foton dengan energi tertentu akan mengeksitasi elektron darikeadaan energi yang lebih rendah ke keadaan energi yang lebih tinggi. Untuk menentukankoefisien ini secara eksperimen terutama karena adanya pengaruh interferensi optis daripola-pola transmitansi dan reflektansi. Tujuan penelitian ini adalah untuk menentukanbesarnya absorpsi lapisan tipis In2O3: SnO2dengan berbagai kadar oksigen yang diberikanpada saat deposisi. Proses pelapisan dilakukan 90% berat In2O3 dan 10% berat SnO2padasubstrat kaca dengan cara sputtering. Pada saat sputtering dilakukan penambahan oksigentertentu yaitu 2,50%, 3,70%, 5,10%, 6,15% dan 8,90% yang dilakukan deposisi padatemperature 1750C. Hasil analisis teramati adanya pergeseran interferensi dan transmitansike arah panjang gelombang yang lebih pendek sebanding dengan kenaikan kadar oksigen.Pada kadar oksigen 2,50% dan 3,70% koefisien absorbsi makin naik, tetapi pada kadaroksigen 5,10%, 6,15% dan 8,90% koefisien absorpsi mulai menurun. Perlakuan kadaroksigen pada saat deposisi lapisan tipis ITO dapat mempengaruhi koefisien absorpsilapisan tipis yang terbentuk.Kata kunci : Kadar oksigen, koefisien absorpsi