STUDI PENUMBUHAN LAPISAN TIPIS PZT DENGAN METODE SPIN COATING - Muhlis, muhlis; Fathoni, Imam; Iswarin, S.J.; Triandi, Rahmat; Masruroh, masruroh (Department of Physics - Faculty of Science, 2013)
Telah dilakukan sintesis PZT dengan tehnik sol-gel dan penumbuhan lapisan tipis PZT dengan metode spin coating. Lapisan tipis PZT dibuat dengan tehnik sol-gel dengan menggunakan larutan penyetabil PEG 400 serta ditumbuhkan di atas substrat silikon dengan metode penumbuhan spin coating. Penggunaan tehnik sol-gel dan metode spin coating diharapkan mampu menghasilkan lapisan tipis dengan tingkat kehomogenan yang tinggi. Struktur lapisan tipis dipelajari dengan menggunakan difraksi sinar-x (XRD) untuk mengetahui struktur serta puncak kristal yang terbentuk. Hasil XRD menunjukkan bahwa terbentuk lapisan perovskit PZT dengan orientasi bidang kristal (100), (101), (111), (200), (102), (112) dan (022) yang mengindikasikan kristal yang terbentuk adalah polikristal. Orientasi bidang kristal yang lebih dominan terletak pada bidang (101).Kata kunci: Lapisan Tipis PZT, Tehnik Sol-Gel, Metode Spin Coating.