RANCANG BANGUN MINI SYSTEM SPIN COATING UNTUK PELAPISAN SENSOR QCM (QUARTZ CRYSTAL MICROBALANCE) - Hudha, Lalu Sahrul; Sakti, Setyawan; Masruroh, Masruroh (Department of Physics - Faculty of Science, 2013)
Quartz Crystal Microbalance (QCM) adalah salah satu sensor yang dapat mengukur massa per unit area dengan cara mengukur perubahan frekuensi pada resonator kristal kuarsa. Tebal dan keseragaman lapisan yang melapisi QCM ini mempengaruhi sensitifitas dan kestabilan sensor QCM. Oleh karena itu, perlu dibuat suatu teknik pelapisan yang dapat menghasilkan lapisan yang diinginkan. Salah satunya adalah teknik spin atau yang bisa disebut sebagai spin coating. Oleh karena itu, telah dilakukan pembuatan alat spin coater yang digunakan untuk melapisi permukaan kristal quartz dengan polysterine agar dapat digunakan sebagai sensor QCM. Alat spin coater yang telah dibuat berbasiskan mikrokontroler ATmega 8535 sebagai sistem control utama. Selain itu, alat ini terdiri dari keypad 4x4 yang digunakan sebagai inputan kecepatan referensi yang diinginkan, LCD 16x2 yang dapat menampilkan kecepatan referensi dan kecepatan aktual yang terbaca. Pembacaan kecepatan aktual dari motor menggunakan sensor hall effect. Alat ini memiliki kestabilan putaran yang terkontrol karena sistem kontrol yang dikembangkan pada alat ini bersifat close loop. Setelah dilakukan pelapisan terhadap permukaan kristal quartz menggunakan alat spin coater ini, didapatkan korelasi antara kecepatan rotasi dan konsentrasi larutan polysterine terhadap beda frekuensi kristal yang terukur. Kecepatan rotasi memiliki korelasi negatif, sedangkan konsentrasi larutan memiliki korelasi positif terhadap beda frekuensi kristal yang terukur. Â Kata kunci: Quartz Crystal Microbalance (QCM), Spin Coating, spin coater, beda frekuensi kristal quartz.