FABRIKASI DAN KARAKTERISASI ELEKTRODA DETEKTOR pH DAN TEMPERATUR TERINTEGRASI DALAM SATU LAPISAN SUBSTRAT - Batara, Dimas Sukma; Wiranto, Goib; Tayubi, Yuyu Rachmat (Program Studi Fisika)
Salah satu cabang kajian fisika material adalah pemrosesan bahan dengan teknologi film tebal. Pemilihan, pemrosesan dan performa material menjadi perhatian utama penelitian fisika material dan mikrofabrikasi film tebal. Teknologi film tebal merupakan metode fabrikasi produk-produk teknologi khususnya elektronika dalam meminiaturisasi produk elektronika. Penelitian ini bertujuan untuk mengembangkan performa sensitivitas sensor pH potensiometrik berbasis mikrofabrikasi film tebal dengan teknik screen printing, sehingga mampu mendekati nilai sensitivitas ideal berdasarkan persamaan Nerst, material yang digunakan antara lain Ag/AgCl sebagai elektroda referensi, RuO2 sebagai elektroda kerja, AgPd untuk lapisan konduktor, Ruthenium kompleks untuk bahan resistor, dan gelatin sebagai bahan tambahan pelapisan KCl pada elektroda referensi. Penelitian ini menghasilkan sensitivitas sensor pH potensiometrik berbasis film tebal sebesar 52,97 mV/pH dengan metode pembentukan elektroda Ag/AgCl melalui klorinasi FeCl3 dan penambahan gelatin pada lapisan elektrolit KCl 3,5 M. Elektroda kerja yang digunakan adalah RuO2. Nilai pH suatu larutan terkait dengan aktivitas ion-ion dalam larutan, sehingga tingkat temperatur akan sangat mempengaruhi aktivitaas ion-ion H+ dalam larutan sehingga mempengaruhi kadar pH larutan. Dengan sebab itu, maka dipilihlah sensor temperatur sebagai pasangan multisensor kualitas air berbasis film tebal terintegrasi dengan sensor pH dalam satu lapisan substrat.