Imam Fathoni
Jurusan Fisika, Fakultas MIPA, Universitas Brawijaya

Published : 5 Documents Claim Missing Document
Claim Missing Document
Check
Articles

Found 2 Documents
Search
Journal : Physics Student Journal

STUDI PENGARUH TEMPERATUR ANNEALING TERHADAP PENUMBUHAN KRISTAL TIMBAL ZIRKONAT TITANAT Pb(ZrxTi1-x)O3 YANG DISINTESIS DENGAN METODE SOL GEL Fathoni, Imam; Muhlis, muhlis; Tjahjanto, Rachmat Triandi; Masruroh, masruroh
Physics Student Journal Vol 1, No 1 (2013)
Publisher : Department of Physics - Faculty of Science

Show Abstract | Download Original | Original Source | Check in Google Scholar

Abstract

Telah dilakukan studi pengaruh temperature annealing terhadap penumbuhan kristal PZT di atas substrat Silikon (Si). Proses pembuatan larutan prekursor PZT dilakukan dengan metode sol gel dan penumbuhan lapisan tipis PZT dengan metode spin coating. Struktur kristal lapisan tipis PZT tanpa annealing dan annealing selama dua jam pada temperatur 500 oC diobservasi menggunakan XRD (X Ray Diffraction). Dari hasil uji XRD menunjukkan bahwa lapisan tipis PZT tanpa annealing (as deposited) belum terbentuk kristal, tetapi pada lapisan tipis PZT yang di annealing pada temperatur 500 oC terbentuk kristal PZT dengan orientasi (102) dan (112). Hal ini menunjukkan bahwa annealing berpengaruh terhadap struktur kristal yang terbentuk, karena kristal PZT belum terbentuk sebelum dilakukan annealing pada lapisan tipis PZT.
STUDI PENUMBUHAN LAPISAN TIPIS PZT DENGAN METODE SPIN COATING Muhlis, muhlis; Fathoni, Imam; Iswarin, S.J.; Triandi, Rahmat; Masruroh, masruroh
Physics Student Journal Vol 1, No 1 (2013)
Publisher : Department of Physics - Faculty of Science

Show Abstract | Download Original | Original Source | Check in Google Scholar

Abstract

Telah dilakukan sintesis PZT dengan tehnik sol-gel dan penumbuhan lapisan tipis PZT dengan metode spin coating. Lapisan tipis PZT dibuat dengan tehnik sol-gel dengan menggunakan larutan penyetabil PEG 400 serta ditumbuhkan di atas substrat silikon dengan metode penumbuhan spin coating. Penggunaan tehnik sol-gel dan metode spin coating diharapkan mampu menghasilkan lapisan tipis dengan tingkat kehomogenan yang tinggi. Struktur lapisan tipis dipelajari dengan menggunakan difraksi sinar-x (XRD) untuk mengetahui struktur serta puncak kristal yang terbentuk. Hasil XRD menunjukkan bahwa terbentuk lapisan perovskit PZT dengan orientasi bidang kristal (100), (101), (111), (200), (102), (112) dan (022) yang mengindikasikan kristal yang terbentuk adalah polikristal. Orientasi bidang kristal yang lebih dominan terletak pada bidang (101).Kata kunci: Lapisan Tipis PZT, Tehnik Sol-Gel, Metode Spin Coating.