Desain Tunable Kapasitor berbasis MEMS Menggunakan Comsol Multiphysics

Masfufiah, Ilmiatul
Wati, Trisna
Setiawati, Novie Elok

Prosiding Seminar Nasional Sains dan Teknologi Terapan
2019: Menuju Penerapan Teknologi Terbarukan pada Industri 4.0: Perubahan Industri dan Transformasi P

Simulasi penyajian kapasitor MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) ini menggunakan perangkat lunak COMSOL Multiphysics 5.0.Penelitian ini terdiri dari merancang dan menyetel atau tining kapasitor pelat paralel yang dapat diatur secara elektrostatis untuk mendapatkan peningkatan nilai kapasitansi. Menyetel nilai kapasitansi dengan mengubah parameter desain kapasitor telah dilakukan dan ditunjukkan dengan 3 cara yaitu: dengan mengubah bahan dielektrik, mengurangi ketinggian pegas, dan memperluas area kapasitor.