<![CDATA[Stylus-Elektromekanis merupakan salah satu metoda dalam pengukuran tebal profil film tipis, yang memanfaatkan transducer Linier Variable Deference Transformer (LVDT). Untuk menerapkan metoda tersebut diperlukan suatu instrumentasi yang terdiri dari perangkat keras dan perangkat lunaknya. Perangkat keras akan mengolah fluktuasi sinyal analog, akibat gerak stylus diatas sampel film tipis, yang dikopel pada ferit sebagai inti transducer LVDT, dan mengubahnya menjadi sinyal digital. Selanjutnya sinyal digital ini direkam ke dalam komputer melalui fasilitas akusisi data. Perangkat lunak dirancang untuk melakukan akusisi data, mengolahnya, berikut intepretasi kuantitatifnya. Oleh karenanya sistem instrumentasi pengukur tebal profil film tipis ini dibuat dilengkapi pula dengan berbagai submenu yang diperlukan, sehingga seluruh proses mulai dari akusisi data sampai dengan intepretasinya dapat dilakukan secara in situ. Dalam riset ini, didesain untuk sensitifitas optimalnya 2,5mV/1,5m. Alternatif untuk meningkatkan sensitivitas yaitu merubah panjang kumparan menjadi 1-mm, dengan ini akan didapat sensitivitas optimal 2,5 mV/0,5m. Cara ini masih terus diuji coba.Kata Kunci : Prototip, tebal film tipis, divais optik]]>
Copyrights © 2007
