KAJIAN PEMBUATAN SENSOR MAGNETORESISTIF BERBASIS BAHAN LAPISAN TIPIS PERMALLOY Ni80Fe20

Fahru Nurosyid (Jurusan Fisika FMIPA UNS, Surakarta)
Kamsul Abraha (Jurusan Fisika FMIPA UGM, Yogyakarta 55281)
Agung Bambang S.U. (Jurusan Fisika FMIPA UGM, Yogyakarta 55281)

Jurnal Sains Materi Indonesia
Vol 2, No 1: OKTOBER 2000

KAJIAN PEMBUATAN SENSOR MAGNETORESISTIF BERBASIS BAHAN LAPISAN TIPIS PERMALLOY Ni80Fe20. Telah berhasil dilakukan pembuatan sensor medan magnet dengan metoda magnetoresistif. Bahan sensor menggunakan lapisan tipis magnetik permalloy Ni80Fe20 hasil deposisi dengan metode sputtering. Sistem sensor menggunakan sistem jembatan Wheatstone (Sheatstone bridge) yang menggunakan perbandingan R2:R3 = 1:5 (1000 ohm : 5000 ohm) untuk memperoleh keluaran yang optimum. Tegangan yang dibutuhkan untuk mengoperasikan sensor adalah ± 9 volt. Daerah kerja sensor dalam orde 104 sampai dengan 10-3 tesla diperoleh setelah sensor dikalibrasi.