<![CDATA[Abstract- Electrical-thermal actuator digunakan pada suatu sistem mikro-elektromekanik (micro-electromechanical system, MEMS), dapat dipakai untuk menggerakkan peralatan berukuran kecil (mikro devices) seperti roda bergigi searah (ratchets) dan rangkaian roda gigi (gear trains). Suatu beda potensial diterapkan pada pads penghubung elektrik menghasilkan arus listrik yang mengalir sampai ke arm dan blade dari actuator. Arm dan blade akan mengalami pemanasan akibat adanya arus listrik tersebut dan resistivity dari material. Hal tersebut mengakibatkan arm dan blade memiliki temperatur yang sangat tinggi. Selanjutnya akan muncul defleksi akibat fenomena termal. Dari hasil simulasi numerik pada penelitian ini diketahui bahwa displacement vertikal dan aliran panas berbanding kuadratik dengan beda potensial dan didapati pula bahwa displacement maksimum terjadi pada ujung blade. Kata Kunci : electrical-thermal actuator, beda potensial, arus listrik, aliran panas, micro-electromechanical system (MEMS)]]>
Copyrights © 2008
