Sifat Optik Lithium Tantalat (Litao3) Diatas Substrat Silikon (100) Tipe-P Bervariasi Suhu

Agus Ismangil
Irmansyah Irmansyah
Irzaman Irzaman

Komputasi: Jurnal Ilmiah Ilmu Komputer dan Matematika
Vol 14, No 1 (2017): Komputasi: Jurnal Ilmiah Ilmu Komputer dan Matematika

Lithium tantalit, yang memiliki rumus kimia LiTaO3, film tipis telah tumbuh pada tipe-p Si substrat (100) dengan menggunakan deposisi larutan kimia dan teknik spin coating pada kecepatan 3000 rpm selama 30 detik. film tipis LiTaO3 dibuat konsentrasi 2,5 juta dan pada suhu anil 550 C, 600 C, 650 C, 700 C, 750 C, dan 800 C. Ini film tipis yang ditandai dengan menggunakan spektroskopi laut optik dan LCR meter. Hasil penelitian menunjukkan bahwa serapan puncak tertinggi film LiTaO3 adalah pada suhu 800 C dengan panjang gelombang di atas 800 nm. Hal ini menunjukkan bahwa film LiTaO3 adalah bahan semikonduktor.