CYCLOTRON
Vol 3, No 2 (2020): CYCLOTRON

Strategi Penghematan Biaya Pembuatan Peralatan Nanoelektronik yang Difabrikasi dengan Profil Data Evaporasi Alumunium

Kusnanto Mukti Wibowo (Universitas Muhammadiyah Purwokerto)
Gema Romadhona (Universitas Muhammadiyah Purwokerto)
Royan Royan (Universitas Muhammadiyah Purwokerto)
Anang Widiantoro (UM Surabaya)
Fatiatun Fatiatun (Universitas Sains Al Quran)
Fatimah Nur Hidayah (ATW Surakarta)
Nani Sunarmi (IAIN Tulungagung)



Article Info

Publish Date
06 Aug 2020

Abstract

Nanoteknologi adalah teknologi terbaru yang sangat menjanjikan untuk masa depan yang memiliki banyak aplikasi potensial dan aktual pada perangkat nanoelektronik. Namun, untuk mendapatkan manfaat pada nanoteknologi diperlukan teknologi canggih itu sendiri. Masalah utama fabrikasi perangkat nanoelectronic adalah skalanya yang kecil, area yang kecil, volume yang kecil dan konsentrasi yang rendah. Pembuatan dalam skala nano memunculkan masalah tidak hanya pada kinerja, tetapi juga biaya untuk industri elektronik. Untuk mengatasi masalah ini, kami mempelajari profil kontak logam. Kami menyajikan profil aluminium (Al) untuk mendapatkan sifat-sifat yang diharapkan dan juga efektif dalam hal biaya, karena aluminium banyak digunakan dalam banyak aplikasi elektronik seperti spintronics, sel surya, transistor film tipis, dan bahkan untuk fotokatalis. Dalam penelitian ini, Al dievaporasikan oleh termal evaporator. Sifat struktural film Al dikarakterisasi menggunakan XRD, AFM, dan FESEM. Sifat kelistrikan dikarakterisasi menggunakan Four-point probe. Hasilnya menunjukkan peningkatan ketebalan menyebabkan penurunan resistivitas dan ukuran strain film Al serta meningkatkan biaya.

Copyrights © 2020






Journal Info

Abbrev

cyclotron

Publisher

Subject

Computer Science & IT Control & Systems Engineering Electrical & Electronics Engineering Energy Engineering

Description

Jurnal Cyclotron merupakan jurnal yang diterbitkan oleh program studi teknik elektro Universitas Muhammadiyah Surabaya. Jurnal ini terbit dua kali dalam setahun yaitu bulan Januari dan Juli. Jurnal ini memfokuskan pada publikasi hasil penelitian dan artikel ilmiah tentang teknik ektro, Sistem ...