Indonesian Journal of Physics (IJP)
Vol 12 No 1 (2001): Vol. 12 No. 1, Januari 2001

Pengaruh Tekanan Dan Komposisi Massa Pereaksi II-VI Terhadap Penumbuhan Lapisan Tipis ZnO Dengan Metode MOCVD

M. Thamrin (Jurusan Fisika FMIPA –ITB, Jl. Ganesha 10 Bandung - Indonesia)
Wilson W. Wenas (Fisika Universitas Mulawarman Samarinda)

Article Info

Publish Date
30 Oct 2016

Abstract

Dalam penelitian ini telah berhasil dikaji dalam bentuk pemodelan dan eksperimen pengaruh tekanan dan komposisi massa pereaksi II-VI terhadap penumbuhan lapisan tipis ZnO dengan metode Metalorganic chemical vapor deposition (MOCVD) menggunakan untuk pertama kalinya gas sistem pereaksi DMZn/H2O. Hasil dari pemodelan dan eksperimen menunjukkan kesesuaian yang baik. Dari analisa laju penumbuhan lapisan tipis ZnO terhadap tekanan deposisi didapatkan bahwa laju penumbuhan meningkat secara eksponensial, sedangkan terhadap komposisi massa pereaksi II-VI, laju penumbuhan cenderung menjadi saturasi di atas nilai stoichiometri.

Copyrights © 2001




Citation Download
RIS
EndNote, Reference Manager, ProCite
BibTex
Latex, Jabref
Full PDF
64.125 KB
Original Source
Download Original
Google Scholar
Check in Google Scholar
Journal Info
Indonesian Journal of Physics (IJP)
Website

Abbrev

ijp

Publisher

Institut Teknologi Bandung

Subject

Astronomy Computer Science & IT Earth & Planetary Sciences Electrical & Electronics Engineering Energy Engineering

Description

Indonesian Journal of Physics welcomes full research articles in the area of Sciences and Engineering from the following subject areas: Physics, Mathematics, Astronomy, Mechanical Engineering, Civil and Structural Engineering, Chemical Engineering, Electrical Engineering, Geotechnical Engineering, ...