PEMBUATAN FILM TIPIS BARIUM STRONTIUM TITANAT (Ba0,6Sr0,4TiO3) MENGGUNAKAN METODE SOL-GEL DAN KARAKTERISASI MENGGUNAKAN SPEKTROSKOPI IMPEDANSI

Rahmi Dewi
Satri Siswanto
Krisman Krisman

Komunikasi Fisika Indonesia
Vol 14, No 1 (2017)

Telah dilakukan penelitian pembuatan film tipis dari bahan Barium Strontium Titanat (Ba0,6Sr 0,4TiO3) yang diannealing pada temperatur 600°C dan 650°C. Sampel dibuat dengan menggunakan metode Sol-Gel kemudian dikarakterisasi menggunakan FESEM dan Spektroskopi Impedansi. Hasil karakterisasi menggunakan FESEM untuk sampel 600°C dan 650°C masing-masing ketebalannya adalah 102,7 nm dan 245,7 nm. Karakterisasi spektroskopi impedansi menggunakan frekuensi sebesar 100 Hz sampai 1 MHz untuk memperoleh nilai impedansi real dan nilai impedansi imajiner yang digunakan untuk menentukan nilai impedansi kompleks, Kapasitansi kompleks dan konstanta dielektrik. Nilai impedansi kompleks pada suhu 600°C dan 650°C masing-masing adalah 2061,4 Ω dan 4684,3 Ω. Nilai kapasitansi kompleks pada suhu 600°C dan 650°C masing-masing adalah 7,72x10-7 F dan 3,4x10-7 F dan Nilai konstanta dielektrik pada suhu 600°C dan 650°C masing-masing adalah 52,9 dan 55,6.