Yunasfi Yunasfi
Pusat Teknologi Bahan Industri Nuklir (PTBIN) - BATAN Kawasan Puspiptek, Serpong 15314, Tangerang

Published : 1 Documents Claim Missing Document
Claim Missing Document
Check
Articles

Found 1 Documents
Search

EFEK PENAMBAHAN DOSIS ION Ar+ TERHADAP PROSES PENUMBUHAN CARBON NANOTUBE DARI NANOKOMPOSIT Fe-C Yunasfi Yunasfi
Jurnal Sains Materi Indonesia Vol 12, No 3: JUNI 2011
Publisher : Center for Science & Technology of Advanced Materials - National Nuclear Energy Agency

Show Abstract | Download Original | Original Source | Check in Google Scholar | Full PDF (759.838 KB) | DOI: 10.17146/jsmi.2011.12.3.4614

Abstract

EFEK PENAMBAHAN DOSIS ION Ar+ TERHADAP PROSES PENUMBUHAN CARBON NANOTUBE DARI NANOKOMPOSIT Fe-C. Telah dilakukan penelitian efek dosis ion Ar+ terhadap proses penumbuhan Carbon Nanotube (CNT) dari nanokomposit Fe-C dengan teknik implantasi ion. Kompaksi Fe-C sebagai target pembuatan lapisan tipis nanokomposit Fe-C tersusun atas serbuk nanokomposit Fe-C, yang dipersiapkan melalui proses milling dengan teknik High Energy Milling (HEM) selama 50 jam. Morfologi serbuk Fe-C hasil miling diamati dengan Scanning Electron Microscope (SEM) guna mengetahui ukuran partikel serbuk. Selanjutnya, serbuk Fe-C hasil milling dikompaksi untuk menjadi target DC-Sputtering. Lapisan tipis Fe-C/Si yang terbentuk diimplant ion Ar+ dengan gas Argon sebagai sumber ion pada dosis 5 x 1015 ion/cm2 hingga 1 x 1017 ion/cm2. Selanjutnya, lapisan tipis Fe-C diidentifikasi fasanya dengan XRD, dan diamati penampang lintangnya dengan SEM. Hasil XRD setelah implant menunjukkan puncak intensitas difraksi turun seiring dengan peningkatan dosis ion Ar+. Hasil SEM menunjukkan ukuran partikel serbuk Fe-C dalam sekala nano. Selain itu hasil SEM juga memperlihatkan permukaan lapisan tipis tidak rata, ketidakrataan ini semakin jelas seiring dengan naiknya dosis, serta ditunjukkan pembentukan CNT di permukaan lapisan tipis Fe-C.