N Sueta
Departemen Fisika, FMIPA - UI Kampus Baru UI, Depok 16424

Published : 1 Documents Claim Missing Document
Claim Missing Document
Check
Articles

Found 1 Documents
Search

STUDI KEKRISTALAN BARIUM STRONTIUM TITANAT (Ba0,5Sr0,5TiO3) YANG DIDOPING MAGNESIUM DENGAN METODE SPIN COATING N Sueta; Y Iriani; M Hikam; B Soegijono; A Jamaludin
Jurnal Sains Materi Indonesia Vol 9, No 3: JUNI 2008
Publisher : Center for Science & Technology of Advanced Materials - National Nuclear Energy Agency

Show Abstract | Download Original | Original Source | Check in Google Scholar | Full PDF (180.71 KB) | DOI: 10.17146/jsmi.2008.9.3.4726

Abstract

STUDI KEKRISTALAN BARIUM STRONTIUM TITANAT (Ba0,5Sr0,5TiO3) YANG DIDOPING MAGNESIUM DENGAN METODE SPIN COATING. Lapisan tipis Ba0,5Sr0,5TiO3 (BST) yang didoping Mg telah dibuat dengan metode Chemical Solution Deposition yang disiapkan dengan spin coating. Deposisi lapisan tipis BST pada substrat Si menggunakan spin coater dengan kecepatan putar 3000 rpmselama 30 detik. Suhu annealing yang digunakan pada penelitian ini adalah 800 oC. Karakterisasi, komposisi dan kekristalan lapisan tipis BST dilakukan menggunakan X-Ray Fluorosence (XRF) dan X-Ray Diffraction (XRD). Hasil XRF menunjukkan bahwa unsur-unsur pembentuk BST dan doping Mg telah terdeposit pada substrat Si. Hasil analisis Rietveld pada pola difraksi sinar X menunjukkan bahwa doping Mg mempengaruhi struktur kristal dan parameter kisi. Parameter kisi untuk BST murni dan BST yang didoping Mg 1% sama dengan data PDF-ICDD yaitu 3,947 Å. Sedangkan untuk BST yang didoping Mg 2 % dan 4 % sebesar 3,948 Å