Article Per Year (5 Year)
p-Index From 2021 - 2026
0
P-Index
This Author published in this journals
All Journal Jurnal Sains Materi Indonesia
B Soebagijono
Departemen Fisika FMIPA, Universitas Indonesia Kampus UI, Depok 16424
Materials Science & Nanotechnology

Published : 1 Documents Claim Missing Document
Claim Missing Document
Check
Articles

Found 1 Documents
Search

 1 
PENGARUH HOLDINGTIME PROSES ANNEALING TERHADAP STRUKTURMIKRODAN MORFOLOGI LAPISAN TIPIS BARIUM ZIRKONIUM TITANATE Y Iriani; V I Variani; M Hikam; B Soebagijono; M Yuliani
Jurnal Sains Materi Indonesia Vol 15, No 3: APRIL 2014
Publisher : Center for Science & Technology of Advanced Materials - National Nuclear Energy Agency

Show Abstract | Download Original | Original Source | Check in Google Scholar | Full PDF (394.818 KB) | DOI: 10.17146/jsmi.2014.15.3.4349

Abstract

PENGARUH HOLDINGTIME PROSES ANNEALING TERHADAP STRUKTURMIKRODAN MORFOLOGI LAPISAN TIPIS BARIUM ZIRKONIUM TITANATE. Penumbuhan lapisan tipis Barium Zirconium Titanate (BZT)menggunakan metode Chemical Solution Deposition (CSD) yang disiapkan dengan spin coater telah berhasil ditumbuhkan di atas substrat Si. Variasi holding time proses annealing dilakukan untuk melihat struktur mikro (tingkat kekristalan) menggunakan X-Ray Diffraction (XRD) dan morfologi (ukuran butir) menggunakan Scanning Electron Microscopy (SEM) dari lapisan tipis BZT. Hasil penelitian menunjukkan bahwa variasi holding timemengakibatkan berubahnya tingkat kekristalan, ketebalan dan ukuran butir lapisan BZT. Tingkat kekristalan makin tinggi seiring dengan bertambahnya holding time yang ditandai dengan makin besarnya intensitas. Tingkat kekristalan tertinggi pada holding time 4 jam yaitu sebesar 80%. Ketebalan lapisan makin tipis seiring dengan bertambahnya holding time. Lapisan tipis BZT dengan holding time 4 jam adalah yang paling tipis yaitu sebesar 570 nm. Ukuran butir bertambah besar seiring dengan bertambahnya holding time karena adanya proses difusi antar butir.
Co-Authors M Hikam M Yuliani V I Variani Y Iriani