Hanedi Darmasetiawan
Jurusan Fisika FMIPA Universitas Indonesia Kampus Baru Depok 16424

Published : 1 Documents Claim Missing Document
Claim Missing Document
Check
Articles

Found 1 Documents
Search

STUDI KEKRISTALAN PbZrxTi1-xO3 YANG DISIAPKAN DENGAN PELAPISAN PUTAR (SPIN COATING) Muhammad Hikam; Irzaman Irzaman; Hanedi Darmasetiawan; Teguh Yogaraksa
Jurnal Sains Materi Indonesia Vol 4, No 1: OKTOBER 2002
Publisher : Center for Science & Technology of Advanced Materials - National Nuclear Energy Agency

Show Abstract | Download Original | Original Source | Check in Google Scholar | Full PDF (1043.24 KB) | DOI: 10.17146/jusami.2002.4.1.4888

Abstract

STUDI KEKRISTALAN PbZrxTi1-xO3 YANG DISIAPKAN DENGAN PELAPISAN PUTAR (SPIN COATING). Telah dibuat lapisan tipis PZT dengan metode pelapisan putar (spin coating), dengan berbagai variasi kecepatan putar, konsentrasi pelarut dan dua macam substrat, Hasil eksperimen menunjukkan peningkatan kecepatan putar (rpm) pada spin coating mengakibatkan degradasi kualitas kristal pada pembentukan lapisan tipis khususnya untuk substrat Pt(200)/Si(100); sedangkan pengenceran larutan tidak berpengaruh pada substrat Si(100) namun meningkatkan orientasi dominan (200) pada substrat Pt(200)/Si(100), Semua lapisan tipis yang terbentuk memiliki sistem kristal tetragonal dengan space group 14mm.