Article Per Year (5 Year)
p-Index From 2021 - 2026
0
P-Index
This Author published in this journals
All Journal Jurnal Otomasi Kontrol dan Instrumentasi
R. A. Saputro
Unknown Affiliation
Chemical Engineering, Chemistry & Bioengineering Control & Systems Engineering Engineering Industrial & Manufacturing Engineering

Published : 1 Documents Claim Missing Document
Claim Missing Document
Check
Articles

Found 1 Documents
Search

 1 
FG-FET Berbasis Film Ag2O Untuk Pendeteksian H2S W Widanarto; Bilalodin Bilalodin; R. A. Saputro
Jurnal Otomasi Kontrol dan Instrumentasi Vol 3 No 2 (2011): Jurnal Otomasi Kontrol dan Instrumentasi
Publisher : Pusat Teknologi Instrumentasi dan Otomasi (PTIO) - Institut Teknologi Bandung

Show Abstract | Download Original | Original Source | Check in Google Scholar | DOI: 10.5614/joki.2011.3.2.3

Abstract

Film Ag2O telah ditumbuhkan pada top electrode Si/Ti/Pt dengan evaporasi termal. Proses evaporasi dilakukan pada tekanan 2×10-2 mbar dalam atmosfir oksigen sintetis. SEM digunakan untuk menganalisa struktur permukaan film. Top electrode dilekatkan pada chip FG-FET untuk membentuk sebuah sensor gas yang sensitif terhadap H2S. Karakterisasi yang meliputi uji temperatur, konsentrasi, kelembaban dan selektivitas dilakukan untuk mengetahui kehandalan sensor. Hasil karakterisasi menunjukkan bahwa FG-FET berbasis film Ag2O dapat mendeteksi H2S pada konsentrasi rendah dengan temperatur operasi optimum 95°C dalam keadaan kering maupun lembab. Penambahan klaster Fe pada permukaan film Ag2O dapat meningkatkan unjuk kerja sensor yang ditandai dengan peningkatan sinyal keluaran sensor. Keywords:FG-FET, Film Ag2O, Fe,Fungsi Kerja, H2S
Co-Authors Bilalodin Bilalodin W Widanarto