Claim Missing Document
Check
Articles

Found 2 Documents
Search

The Effect of Pre-annealing Temperature on Structural Characteristics of ZnO Thin Films Deposited by Sol-Gel Method M Mursal; Evi Yufita
Jurnal Teori dan Aplikasi Fisika Vol. 4 No. 1 (2016): Jurnal Teori dan Aplikasi Fisika
Publisher : Department of Physics, Faculty of Mathematics and Natural Sciences, University of Lampung

Show Abstract | Download Original | Original Source | Check in Google Scholar | DOI: 10.23960/jtaf.v4i1.101

Abstract

Pengaruh temperature pre-annealing terhadap struktur lapisan tipis ZnO yang dideposisi dengan metode Sol-Gel (spin coating) telah diteliti. Lapisan tipis ZnO dideposisi di atas substrat kaca preparat berukuran 2 cm x 2 cm. Pembuatan prekursor dilakukan dengan melarutkan ZnAc dengan pelarut etanol dan dietilene glikol (DEG). Proses deposisi precursor di atas substrat dilakukan dengan cara penetesan, kemudian diputar selama 20 detik dengan menggunakan spinner. Proses pre-annealing dilakukan selama 1 jam, dengan variasi temperatur 1500C, 2000C, dan 2500C. Selanjutnya dilakukan proses annealing pada temperatur 6000C selama 1 jam. Struktur mikro dan topografi permukaan lapisan tipis ZnO diuji masing-masing dengan menggunakan XRD dan AFM. Hasil penelitian menunjukkan bahwa lapisan tipis ZnO yang ditumbuhkan memiliki struktur heksagonal dengan parameter kisi a = 3,252 b = 3,253 c = 5,209 (c/a = 1,601). Temperatur pre-annealing mempengaruhi struktur mikro dan topografi permukaan lapisan tipis ZnO.
Pengaruh Waktu Penahanan Terhadap Karakteristik Lapisan Tipis ZnO yang Dideposisi dengan teknik Sol-gel Spin Coating M Mursal; I Irhamni; B Bukhari
Jurnal Teori dan Aplikasi Fisika Vol. 4 No. 2 (2016): Jurnal Teori dan Aplikasi Fisika
Publisher : Department of Physics, Faculty of Mathematics and Natural Sciences, University of Lampung

Show Abstract | Download Original | Original Source | Check in Google Scholar | DOI: 10.23960/jtaf.v4i2.123

Abstract

Telah dilakukan kajian tentang karakteristik lapisan tipis seng oksida (ZnO) yang dideposisi dengan teknik sol-gel spin coating. Penelitian ini bertujuan untuk meneliti pengaruh waktu penahanan terhadap karakteristik lapisan tipis ZnO. Pada penelitian ini, lapisan tipis ZnO dideposisi di atas substrat corning glass 7059, menggunakan zinc acetate sebagai prekursor dan etanol sebagai pelarut. Lapisan tipis ZnO yang terdeposisi dipanaskan (pre-annealing) pada temperatur 200 0C selama 15 menit, dan selanjutnya dilakukan proses annealing pada temperatur 700 0C dengan waktu penahanan divariasikan dari 10-50 menit. Untuk mengetahui karakteristik dan struktur dari lapisan ZnO, dilakukan pengujian menggunakan spektrometer Ultra violet-Visible (UV-Vis), dan Atomic Force Microscopy (AFM). Hasil penelitian menunjukkan bahwa nilai transmitansi lapisan ZnO relatif tinggi (70-80 %). Celah pita optik lapisan tipis ZnO menyempit dari 3,69-3,61 eV dengan bertambahnya durasi waktu penahanan dari 10-50 menit. Durasi waktu penahanan tidak memberikan pengaruh yang signifikan terhadap perubahan nilai koefisien absorpsi optik. Akan tetapi morfologi permukaan lapisan ZnO mengalami perbaikan dengan meningkatnya durasi waktu annealing.