Fisika Atom dan Inti adalah salah satu mata kuliah wajib pada program studi S-1 Pendidikan Fisika Universitas Ahmad Dahlan, Yogyakarta. Dalam kegiatan pembelajaran mata kuliah tersebut, penulis mengamati bahwa mahasiswa kurang memiliki motivasi untuk belajar secara mandiri. Sebagai salah satu alternatif solusi masalah ini telah dikembangkan suatu modul pembelajaran pada pokok bahasan Reaksi Inti dalam bahasa Indonesia yang disajikan dengan ringkas, menarik dan praktis. Model pengembangan yang digunakan adalah ADDIE, yang terdiri atas tahap-tahap Analysis (analisis), Design (desain), Development (pengembangan), Implementation (implementasi), dan Evaluation (Evaluasi). Untuk mengetahui kelayakan modul, dilakukan validasi oleh dua orang dosen ahli materi, dan uji coba modul oleh pengguna sebanyak 10 orang mahasiswa. Persepsi para ahli digali melalui angket dan dianalisis secara deskripstif menggunakan persentase tingkat kelayakan. Hasil penelitian menunjukkan tingkat kelayakan menurut ahli materi rata-rata sebesar 85,42%, sedangkan dari respon pengguna diperoleh tingkat kelayakan rata-rata sebesar 88,33 %. Dapat disimpulkan bahwa modul pembelajaran yang dikembangkan sangat layak digunakan sebagai sumber belajar mandiri.Kata kunci: modul pembelajaran, Fisika Atom dan Inti, Reaksi Inti.