Pengembangan perangkat pembelajaran yang baik yaitu dengan merancang perangkat pembelajaran yang tidak hanya mengembangkan pengetahuan kognitif tetapi juga mengembangkan kompetensi lain seperti kreativitas, kemampuan berpikir kritis, kemampuan dalam menyelesaikan suatu masalah serta kemampuan literasi sains dan sikap ilmiah. Penelitian ini bertujuan untuk mengembangkan perangkat pembelajaran fisika berbasis model inkuiri terbimbing untuk meningkatkan kemampuan literasi sains dan sikap ilmiah peserta didik. Jenis penelitian yang digunakan yaitu penelitian pengembangan (Research and Development) dengan model penelitian yang dikembangkan adalah 4D Models. Produk yang dikembangkan berupa silabus, rencana pelaksanaan pembelajaran, lembar kerja peserta didik, dan instrumen tes berupa soal kemampan literasi sains dan sikap ilmiah. Pengumpulan data dilakukan melalui lembar validasi perangkat. Analisis data dilakukan dengan cara kualitatif dan kuantitatif. Hasil validitas yang diperoleh menunjukkan perangkat silabus, RPP, LKPD, dan instrument tes dengan rata-rata keseluruhan 93,63% berada pada kriteria sangat valid. Reliabilitas perangkat pembelajaran menggunakan Percentage Agreement (PA). Perangkat pembelajaran yang dikembangkan menunjukkan rata-rata keseluruhan nilai 94,34% berada pada kriteria reliabel dengan ditinjau dari ketercapaian indikator pembelajaran yang memiliki nilai PA lebih dari 75% menunjukkan keseluruhan aspek yang dinilai termasuk dalam kategori reliabel. Berdasarkan hasil tersebut, dapat disimpulkan bahwa perangkat pembelajaran fisika berbasis model inkuiri terbimbing sangat valid dan reliabel untuk meningkatkan kemampuan literasi sains dan sikap ilmiah peserta didik.