Tujuan penelitian ini adalah untuk mengetahui prosedur pembuatan angket online dengan Google Form sebagai instrumen kinerja siswa dan respon siswa dalam menggunakannya. Metode deskriptif kualitatif dilakukan dalam penelitian ini menggunakan kuesioner dan studi dokumentasi. Partisipan dalam penelitian ini adalah siswa jurusan IPA. Hasil penelitian ini menunjukkan bahwa prosedur pengembangan angket penilaian kinerja siswa pada proses pembelajaran menggunakan Google Form dimulai dari perencanaan, pembuatan, penerbitan dan pemberian petunjuk penggunaan. Data tanggapan siswa menunjukkan bahwa sebagian besar siswa suka menggunakan angket online (65%), mudah diakses (40%), waktu menjadi lebih hemat (40%), hemat kertas (50%), tahu cara menggunakannya (55%), tampilan mudah dimengerti (65%), Bahasa kuesioner sesuai (65%), menjawab lebih mudah menggunakan google form (50%), tertarik menjawab pertanyaan dengan google form (70%). Jadi, Google Form sangat berguna bagi guru dan siswa untuk mengumpulkan data kinerja siswa.Using Google Forms as an Evaluation Tool for Class X Physics LessonsAbstractThe purpose of this study to know the procedure of creating online questionnaire with Google Form as instrument of student performances and student responding to using it. Analysis kualitatif descriptive method was implemented within study by using a set of questionnaire and documentation study. The participants for this study are students of department of science. The results of this study indicated that procedure of development student performance assessment questionnaire on the learning process using Google Form started from planning, creating, publishing and providing usage instructions. Students response data showed that most students like to use an online questionnaire (65%), easily accessible (40%), time becomes more efficient (40%), save paper (50%), know how to use it (55%), the display is easily understandable (65%), Language of questionnaires are appropriate (65%), , answer easier using google form (50%), interested answering question with google form (70%). So, Google Form is very useful for teachers and students to collect data student performance.