Analisis kelayakan bangunan masjid menggunakan model topsis yang dilihat dari kualitas bangunan yang telah ada dan analisis menggunakan model topsis sesuai dengan kelayakan dari masing-masing masjid tersebut kota lhokseumawe. Kebanyakan dari kualitas bangunan arsitektur masjid yang telah dibangun dilihat dari pendekatan kepada obyek masyarakat Islam terutama di indonesia dan nilai-nilai prinsip dasar Islam yang kebanyakan memiliki ide kreatif dan inovatif dalam desain bangunan masjid. Penelitian ini melihat kualitas bangunan-bangunan masjid kota lhokseumawe yang kemudian akan dlihat dari kualitas masjid akan diproses dengan menggunakan model topsis yang hasil nya dan dapat dijadikan rekomendasi untuk dinas/pemerintah kota dalam memberikan bantuan masjid yang dianggap layak dan tidak layak yang leibh penting adalah pemerintah mengetahui dari sisi pemberian bantuan untuk masjid dan sangat penting model suatu model diterapkan dalam penetuan kualitas dari masjid tersebut. Oleh karena itu model system yang diterapkan dalam melakukan pemilihan model masjid agar pemilihan masjid moderan dilakukan secara cepat dan tepat. Hal lain juga menjadi permasalahan dari kualitas bangunan yang layak dan dilihat juga pada konsep strktur bangunan. kriteria yang digunakan dalam pemilihan kualitas bangunan masjid adalah Stuktur Atap, Stuktur Atap Langit-Langit, Struktur Lantai (Keramik), Kualitas Beton dan Dinding, Kualitas Cat Bangunan dan Sanitasi Air bersih. Adapun model Technique for Order Preference by Similarity to Ideal Solution (Topsis) yang digunakan untuk melihat masjid dengan kualitas bangunan terbaik yang dilihat berdasarkan kriteria tersebut. Hasil dari sistem ini untuk membantu tim dan masyarakat dalam melihat kualitas masjid terbaik sehingga sistem yang dibangun dapat digunakan sebagai acuan bagi masyarakat dan dinas dalam melihat kualitas bangunan.