KARAKTERISASI LAPISAN TIPIS SnO2- SPUTTERING DC SEBAGAI ELEMEN SENSOR GAS CO

Lizda J. Mawarani (Jurusan Teknik Fisika FTI - ITS Kampus ITS Keputih Sukolilo, Surabaya 60111)
Agus Santoso (Alm.) (Pusat Teknologi Akselerator dan Proses Bahan (PTAPB) - BATAN Jl. Babarsari Kotak Pos 1008, Yogyakarta 55110)
Agung Budiono (Jurusan Teknik Fisika FTI - ITS Kampus ITS Keputih Sukolilo, Surabaya 60111)
Anang Pribady (Jurusan Teknik Fisika FTI - ITS Kampus ITS Keputih Sukolilo, Surabaya 60111)

Jurnal Sains Materi Indonesia
Vol 8, No 1: OKTOBER 2006

KARAKTERISASI LAPISAN TIPIS SnO2- SPUTTERING DC SEBAGAI ELEMEN SENSOR GAS CO. Lapisan tipis SnO2 dapat berfungi sebagai sensor gas CO, namun masih kurang stabil terhadap waktu, serta selektivitas dan sensitivitas terhadap gas masih kurang. Untuk memperoleh hasil yang lebih baik dalam penelitian ini metode Sputtering DC digunakan dalam deposisi lapisan tipis SnO2 dengan memvariasi waktu deposisi sputtering, waktu pendinginan pasca sputtering dan suhu operasi sensor (dalam karakterisasi). Diperoleh hasil terbaik untuk sampel dengan waktu deposisi 2 jam dan waktu pendinginan 3 jam, pada suhu operasi 250 oC. Dari penelitian ini dihasilkan sensor dengan kestabilan terhadap waktu yang relatif konstan pada nilai 38,85±4 kΩ. Selektivitas terhadap gas CO juga lebih baik dan sensitivitas memiliki gradian 4,1863(%ΔR)/ppm gas CO