Article Per Year (5 Year)
p-Index From 2021 - 2026
0
P-Index
This Author published in this journals
All Journal Jurnal Sains Materi Indonesia
Agung Budiono
Jurusan Teknik Fisika FTI - ITS Kampus ITS Keputih Sukolilo, Surabaya 60111
Materials Science & Nanotechnology

Published : 1 Documents Claim Missing Document
Claim Missing Document
Check
Articles

Found 1 Documents
Search

 1 
KARAKTERISASI LAPISAN TIPIS SnO2- SPUTTERING DC SEBAGAI ELEMEN SENSOR GAS CO Lizda J. Mawarani; Agus Santoso (Alm.); Agung Budiono; Anang Pribady
Jurnal Sains Materi Indonesia Vol 8, No 1: OKTOBER 2006
Publisher : Center for Science & Technology of Advanced Materials - National Nuclear Energy Agency

Show Abstract | Download Original | Original Source | Check in Google Scholar | Full PDF (651.011 KB) | DOI: 10.17146/jusami.2006.8.1.4816

Abstract

KARAKTERISASI LAPISAN TIPIS SnO2- SPUTTERING DC SEBAGAI ELEMEN SENSOR GAS CO. Lapisan tipis SnO2 dapat berfungi sebagai sensor gas CO, namun masih kurang stabil terhadap waktu, serta selektivitas dan sensitivitas terhadap gas masih kurang. Untuk memperoleh hasil yang lebih baik dalam penelitian ini metode Sputtering DC digunakan dalam deposisi lapisan tipis SnO2 dengan memvariasi waktu deposisi sputtering, waktu pendinginan pasca sputtering dan suhu operasi sensor (dalam karakterisasi). Diperoleh hasil terbaik untuk sampel dengan waktu deposisi 2 jam dan waktu pendinginan 3 jam, pada suhu operasi 250 oC. Dari penelitian ini dihasilkan sensor dengan kestabilan terhadap waktu yang relatif konstan pada nilai 38,85±4 kΩ. Selektivitas terhadap gas CO juga lebih baik dan sensitivitas memiliki gradian 4,1863(%ΔR)/ppm gas CO
Co-Authors Agus Santoso (Alm.) Anang Pribady Lizda J. Mawarani