Analisa Rietvield Pada Material Barium Zirkonium Titanat (BZT)

Septian Rahmat Adnan (Department of Industrial Enginering, Faculty of Engineering, Universitas Esa Unggul)

JURNAL KAJIAN TEKNIK MESIN
Vol 5, No 1 (2020): Jurnal Kajian Teknik Mesin

Pada penelitian ini dilakukan proses Rietvield refinement pada material Barium Zirkonium Titanat (BZT) yang ditumbuhkan pada substrat Silikon (Si) untuk mengetahui sruktur kristal BZT. Dari hasil kurva XRD yang dicocokan dengan data base COD didapatkan bidang kristal yang muncul adalah (110), (101), (111), dan (200) .Hasil refinement kurva XRD menunjukan menunjukan struktur kristal BZT adalah Tetragonal dengan parameter kisi c/a : 1,01. Kurva error antara kurva hasil eksperimen XRD dan hasil refinement menunjukan perbedaan yang sangat kecil serta hasil  chi – squared menunjukan tren linier. Dari hasil tersebut dapat dinyatakan bahwa lapisan BZT telat berhasil tumbuh pada substrat Silikon (Si)