FABRIKASI CHIP MASKED-READ ONLY MEMORY 112 BITS DENGAN TEKNOLOGI N-CHANNEL METAL OXIDE SEMICONDUCTOR (N-MOSFET)

Subandi, Ayub
Idris, Irman

KOMPUTIKA - Jurnal Sistem Komputer
Vol. 2 No. 2 (2013): Komputika

Pada penelitian ini, dilakukan fabrikasi rangkaian terintegrasi (IC=Integrated Circuit) Masked-ROM 112 bits dengan teknologi NMOS (n-channel Metal Oxide Semiconductor) berikut gerbang-gerbang logika. Gerbang logika yang dipakai adalah inverter, AND, dan NOR. Proses-proses yang digunakan diantaranya pencucian wafer, fotolitografi, oksidasi, deposisi polisilikon, dan metalisasi Aluminium. Dari hasil pengukuran terhadap divais yang dibuat diperoleh threshold voltage positif. Karakterisasi gerbang logika secara umum telah tercapai. Akan tetapi masked-ROM yang difabrikasi masih tidak sesuai dengan yang diharapkan.