Pengaruh Suhu Tumbuh Terhadap Struktur Kristal Lapisan Tipis ZnO 0.02 mol

Purno Aji, Wisnu ( Universitas Negeri Jakarta)
Priyotomo, Rizqon ( Universitas Negeri Jakarta)
Sugihartono, iwan ( Universitas Negeri Jakarta)
Handoko, Erfan ( Universitas Negeri Jakarta)
Soegijono, Bambang ( Universitas Negeri Jakarta)
Hikam, M. ( Universitas Negeri Jakarta)

Jurnal Spektra
Vol 14, No 1 (2013): Spektra: Jurnal Fisika dan Aplikasinya

Telah dilakukan penumbuhan lapisan tipis ZnO 0.02 mol diatas substrat Si (111) menggunakan teknik Ultrasonic Spray Pyrolysis (USP) dengan suhu tumbuh 4000C, 4500C, dan 5000C. Serbuk Zn(CH3COO)2 . 2H2O digunakan sebagai larutan precursor dengan air de-ionisasi sebagai pelarut. Berdasarkan profil warna lapisan tipis ZnO yang tumbuh diatas substrate silikon diprediksikan memiliki ketebalan sekitar 200 nm. Sementara, hasil karakterisasi menggunakan X-Ray Diffraction (XRD) pada temperature ruang menunjukan bahwa fasa kristal yang terbentuk merupakan polikristal ZnO dengan intensitas spectrum XRD yang tidak linear dengan penambahan suhu tumbuh.Kata kunci: Lapisan Tipis, Ultrasonic Spray Pyrolysis (USP), Struktur Kristal