Sifat Optik Lithium Tantalat (Litao3) Diatas Substrat Silikon (100) Tipe-P Bervariasi Suhu

Ismangil, Agus
Irmansyah, Irmansyah
Irzaman, Irzaman

Komputasi: Jurnal Ilmiah Ilmu Komputer dan Matematika
Vol 14, No 1 (2017): JURNAL KOMPUTASI

Lithium tantalit, yang memiliki rumus kimia LiTaO3, film tipis telah tumbuh pada tipe-p Si substrat (100) dengan menggunakan deposisi larutan kimia dan teknik spin coating pada kecepatan 3000 rpm selama 30 detik. film tipis LiTaO3 dibuat konsentrasi 2,5 juta dan pada suhu anil 550 ° C, 600 ° C, 650 ° C, 700 ° C, 750 ° C, dan 800 ° C. Ini film tipis yang ditandai dengan menggunakan spektroskopi laut optik dan LCR meter. Hasil penelitian menunjukkan bahwa serapan puncak tertinggi film LiTaO3 adalah pada suhu 800 ° C dengan panjang gelombang di atas 800 nm. Hal ini menunjukkan bahwa film LiTaO3 adalah bahan semikonduktor.