Sidopekso, Satwiko
Universitas Negeri Jakarta

Published : 1 Documents Claim Missing Document
Claim Missing Document
Check
Articles

Found 1 Documents
Search

Penentukan Indeks Bias Lapisan Tipis dengan menggunakan Ellipsometer Sidopekso, Satwiko
Jurnal Fisika dan Aplikasinya Vol 5, No 2 (2009)
Publisher : Lembaga Penelitian dan Pengabdian Kepada Masyarakat, LPPM-ITS

Show Abstract | Download Original | Original Source | Check in Google Scholar | Full PDF (74.77 KB) | DOI: 10.12962/j24604682.v5i2.942

Abstract

Penelitian amorphous silicon film tipis yang pelapisnya dilakukan di atas bahan semi transparan dan non transparan. Dengan menggunakan Ellipsometer menghasilkan pengukuran yang sangat akurat, dan dengan menggunakan komputer program hasil percobaan diolah serta dibandingkan antara pengukuran dilakukan sebelumnya.