Perpustakaan UIN SUSKA Riau telah menggunakan sistem informasi untuk mewujudkan otomasi perpustakaan, hal ini ditandai dengan diterapkannya sistem informasi perpustakaan sejak tahun 2009. Sistem informasi perpustakaan yang ada meliputi sistem Openbiblio, sistem absensi, sistem sirkulasi loker, OPAC dan MPS. Dalam penerapannya sistem informasi perpustakaan masih belum berjalan optimal karena masih terdapat beberapa kendala dalam penggunaannya. Penelitian bertujuan untuk mengetahui keterkaitan diantara faktor manusia (human), organisasi (organization), dan teknologi (technology) terhadap manfaat (net benefit) serta mengukur tingkat keberhasilan dari penerapan sistem informasi perpustakaan yang ada di UIN SUSKA Riau. Pada penelitian ini menggunakan HOT Fit Model yang terdiri dari konstruk human (penggunaan sistem, kepuasan pengguna), organization (struktur organisasi) dan technology (kualitas sistem, kualitas informasi, kualitas layanan) dan manfaat. Pengambilan data diperoleh melalui penyebaran kuesioner, wawancara dan observasi. Untuk teknik analisa data menggunakan SEM serta tools yang digunakan yaitu SmartPLS. Hasil penelitian menunjukkan bahwa variabel kualitas informasi berpengaruh terhadap penggunaan sistem, kualitas layanan berpengaruh terhadap kepuasan pengguna, struktur organisasi berpengaruh terhadap kepuasan pengguna dan net benefit, kepuasan pengguna berpengaruh terhadap penggunaan sistem, sedangkan penggunaan sistem berpengaruh terhadap net benefit. Nilai keberhasilan sistem informasi perpustakaan berada dalam tingkat cukup berhasil dengan persentase 60.5%. Kata Kunci : HOT Fit Model, SEM, Sistem informasi perpustakaan, SmartPLS