Article Per Year (5 Year)
p-Index From 2020 - 2025
0.408
P-Index
This Author published in this journals
All Journal Mechatronics, Electrical Power, and Vehicular Technology PROSIDING : Seminar Nasional Fisika dan Pendidikan Fisika Prosiding Seminar Nasional Sains dan Teknologi Terapan International Journal of Renewable Energy Development
Eka Nurdiana
Unknown Affiliation
Computer Science & IT Control & Systems Engineering Earth & Planetary Sciences Education Electrical & Electronics Engineering Energy Engineering Physics

Published : 4 Documents Claim Missing Document
Claim Missing Document
Check
Articles

Found 1 Documents
Search
Journal : PROSIDING : Seminar Nasional Fisika dan Pendidikan Fisika

 1 
SINTESIS BAHAN RESIST DARI EPOXY UNTUK APLIKASI FOTOLITOGRAFI Sutikno, Sutikno; Nurdiana, Eka; Sugianto, Sugianto
PROSIDING : Seminar Nasional Fisika dan Pendidikan Fisika Vol 1, No 4 (2013)
Publisher : PROSIDING : Seminar Nasional Fisika dan Pendidikan Fisika

Show Abstract | Download Original | Original Source | Check in Google Scholar | Full PDF (296.123 KB)

Abstract

Bahan yang digunakan dalam penelitian meliputi resin epoxy, sodium acetate trihydrate dan toluena. Epoxy merupakan polimer yang sering digunakan sebagai komponen photoresist. Polimer berbasis epoxy merupakan kandidat yang baik digunakan sebagai bagian dari perangkat mekanik mikro elektro. Epoxy umumnya memberikan sifat adhesi yang luar biasa terhadap permukaan semikonduktor, sensitivitas yang baik dan harga yang murah. Photoresist epoxy yang dihasilkan memiliki absorbansi 0,1-1,5 pada panjang gelombang g-line, h-line dan i-line, sedangkan pada panjang gelombang XeF selalu bernilai negatif. Strutur mikro permukaan film tipis photoresist dengan pemanasan 70ºC menghasilkan homogenitas permukaan lebih halus daripada pemanasan 90ºC. Kerapatan photoresist meningkat dengan semakin banyaknya komposisi toluena dan viskositas cairan photoresist berkurang dengan meningkatnya komposisi toluena. Kata kunci: photoresist; epoxy; polimer fotosensitif; litografi
Co-Authors Agus Budianto Dianti, Dwie Vannia Fikriyadi, Zakariya Arif Ifanda, Ifanda Kholid Akhmad, Kholid Mangkurat, Wisnu Mardiansah, Fajril Margowadi, Yusuf Mulyana, Iwa Garniwa Nugroho, Muhammad Very Nurliyanti, Vetri Prasetyo Aji Prawitasari, Adinda Putri Utami, Dannya Maharani Rezavidi, Arya Sugianto Sugianto Sutikno Sutikno Syafei, Suhraeni Utami, Dannya Maharani Putri