Teknik penumbuhan ZnO nanorods dilakukan menggunakan dua tahap, yaitu tahap deposisi lapisan benih dan penumbuhan nanorods. Deposisi lapisan benih dilakukan menggunakan teknik ultrasonic nebulizer 1.7 MHz dan penumbuhan nanorods menggunakan teknik hidrotermal pada suhu 95 oC selama 2 jam. Fokus penelitian ini adalah mengamati pengaruh perlakuan panas larutan prekursor pada penumbuhan ZnO nanorods. Morfologi ZnO nanorods akan diamati menggunakan scanning electron microscopy (SEM) dan analisis komposisi menggunakan EDX. Hasil pengamatan mengkonfirmasi ZnO nanorods tumbuh di atas substrat dengan orientasi acak dan ukuran diameter yang bervariasi. Pengujian komposisi ZnO nanorods dilakukan menggunakan energy dispersive x-ray (EDX) memberikan konfirmasi jumlah elemen Zn yang memiliki komposisi paling besar dibandingkan dengan elemen lainnya. ZnO nanorods grown technique with two steps, namely seed layer deposition and nanorods grown. Seed layer deposition by ultrasonic nebulizer 1.7 MHz and ZnO nanorods were grown by hydrothermal at 95 oC for two hours. The focus of this research is to observe the effect of heat treatment of precursor solutions on the growth of ZnO nanorods. The morfology of ZnO nanorods will be observed with scanning electron microscopy (SEM) and composition analysis with EDX. The results confirm the ZnO nanorods growing on the substrate with random orientation and varying diameter sizes. ZnO nanorods composition testing performed using dispersive x-ray energy (EDX) confirmed the number of Zn elements that have the greatest composition compared to other elements.