Perguruan tinggi sebagai bagian dari industri dituntut untuk memberikan kualitas layanan terbaik kepada mahasiswa. Hal tersebut memberi kesempatan untuk dilakukan penelitian ini dengan tujuan mengukur pengaruh kualitas layanan terhadap kepuasan dan loyalitas mahasiswa STAI Nurul Islam Mojokerto dengan Structural Equation Modeling (SEM) kepada 113 mahasiswa. Model kualitas layanan pendidikan tinggi yang digunakan dalam penelitian ini adalah Higher Education PERFormance (HEdPERF). HEdPERF yang terdiri dari lima dimensi yaitu aspek akademik, aspek non-akademik, reputasi, akses, dan masalah program. Hasil penelitian menunjukkan bahwa dari enam hipotesis yang ada dalam penelitian ini, tiga diantaranya diterima sedangkan tiga lainnya ditolak. Mahasiswa merasa puas terhadap aspek reputasi dan isu program, sehingga memberi pengaruh positif yang signifikan terhadap loyalitas. Sedangkan aspek akademik, non-akademik, dan akses terhadap fasilitas tidak menunjukkan pengaruh yang signifikan.