Berdasarkan fakta masih rendahnya realisasi penghimpunan wakaf tunai sedangkan potensi yang ada sangatlah besar, maka hal tersebut mencerminkan masih rendahnya minat berwakaf tunai. Oleh karena itu, penelitian ini bertujuan untuk meneliti lebih lanjut terkait faktor-faktor yang diduga berpengaruh terhadap minat berwakaf tunai. Fokus permasalahan yang akan diteliti dalam penelitian ini adalah mengenai religiusitas (X1), literasi wakaf (X2) dan promosi (X3) pada mahasiswa kampus Islam Kota Malang terhadap minat berwakaf tunai (Y) sebagai variabel terikatnya melalui kesadaran (Z) sebagai variabel mediasi. Penelitian ini merupakan jenis penelitian kuantitatif. Data dikumpulkan melalui kuisioner yang disebar kepada 100 responden dengan menggunakan metode simple random sampling. Analisis dengan menggunakan metode Structural Equation Modeling (SEM) berbasis Partial Least Square (PLS). Hasil analisis menunjukkan bahwa religiusitas dan literasi wakaf berpengaruh signifikan terhadap kesadaran, promosi tidak berpengaruh signifikan terhadap kesadaran mahasiswa berwakaf tunai, religiusitas berpengaruh signifikan terhadap minat berwakaf tunai, literasi wakaf dan promosi berpengaruh tidak signifikan terhadap minat berwakaf tunai, dan kesadaran berpengaruh signifikan terhadap minat berwakaf tunai. Adapun secara tidak langsung, kesadaran mampu memediasi religiusitas dan literasi wakaf terhadap minat berwakaf tunai, sedang tidak mampu memediasi pengaruh promosi terhadap minat berwakaf tunai. Despite the immense potential for cash waqf, its realization remains low, indicating a lack of interest in cash waqf. This study aims to investigate the factors influencing cash waqf interest among Islamic university students in Malang City. The research focuses on the relationship between religiosity (X1), waqf literacy (X2), promotion (X3), and cash waqf interest (Y) as the dependent variable, mediated by awareness (Z). Employing a quantitative research approach, data was collected from 100 respondents using simple random sampling and a questionnaire. Structural Equation Modeling (SEM) based on Partial Least Square (PLS) was employed for data analysis. The results indicate that religiosity and waqf literacy significantly influence awareness, while promotion does not significantly impact students' cash waqf awareness. Religiosity significantly influences cash waqf interest, while waqf literacy and promotion do not. Awareness significantly influences cash waqf interest. Indirectly, awareness mediates the influence of religiosity and waqf literacy on cash waqf interest but not the influence of promotion.