<![CDATA[Penelitian ini bertujuan mengevaluasi akurasi dan presisi pengukuran komposisi unsur menggunakan teknik Energy Dispersive X-ray Spectroscopy (EDS) pada variasi tegangan elektron (15–20 kV) dalam Scanning Electron Microscope (SEM), dengan menjadikan hasil X-ray Fluorescence (XRF) sebagai acuan pembanding. Sampel SS136 dianalisis untuk mengetahui pengaruh perubahan tegangan terhadap performa EDS, baik dari segi deviasi antar titik pengukuran maupun kesesuaiannya dengan data XRF. Hasil menunjukkan bahwa peningkatan tegangan elektron menghasilkan perbaikan signifikansi dalam resolusi morfologi serta kualitas data EDS. Tegangan 20 kV memberikan hasil EDS yang paling mendekati nilai XRF, dengan standar deviasi antar titik paling kecil (Fe: 0,20%). Sebaliknya, tegangan 15 kV menunjukkan deviasi yang tinggi dan akurasi lebih rendah, sehingga kurang ideal untuk karakterisasi kuantitatif material logam. Temuan ini sejalan dengan teori interaksi elektron dalam SEM, dimana tegangan tinggi meningkatkan efektifitas, memperkuat sinyal karakteristik, dan mengurangi aberasi. Dapat disimpulkan bahwa penggunaan tegangantinggi, khususnya 20 kV, direkomendasikan untuk analisis EDS berbasis SEM pada material konduktif seperti baja tahan karat. Selain itu, pendekatan multi-teknik menggunakan kombinasi XRF dan EDS terbukti efektif untuk validasi silang hasil analisis, yang penting dalam riset dan kontrol mutu material teknik.]]>
Copyrights © 2026
