Penumbuhan Lapisan Tipis Barium Titanat (BaTiO3) menggunakan Metode Sol-Gel dengan Variasi Mol

Ayu Uswatu Lissa Sapta Setyadi (Program Studi S2 Ilmu Fisika, Pascasarjana Universitas Sebelas Maret Jl. Ir. Sutami 36A Kentingan, Surakarta 57126)
Yofentina Iriani (Jurusan Fisika FMIPA Universitas Sebelas Maret Jl. Ir. Sutami 36A Kentingan, Surakarta 57126)
Fahru Nurosyid (Jurusan Fisika FMIPA Universitas Sebelas Maret Jl. Ir. Sutami 36A Kentingan, Surakarta 57126)

Prosiding SNFA (Seminar Nasional Fisika dan Aplikasinya)
2017: Prosiding SNFA (Seminar Nasional Fisika dan Aplikasinya) 2017

Abstract: Preparation of Barium Titanate thin film (BaTiO3) has been done on Quartz substrate using sol gel method with spin coating technique. A thin film BaTiO3 wase made with a mole variation of 0.4 mol and 0.8 mol at a rotation speed of 3000 rpm. The samples were annealed at 400 ° C with 30 minutes stand-up time and at 900 ° C with 2 hours stand-up time and a heating rate of 5 ° C per minute. Characterization of optical properties samples was performed using UV-Vis spectrometers and characterization of microstructure samples using X-Ray Diffraction (XRD). The particle size was calculated by Scherer's formula. Based on the results of the analysis it was found that mole variation of the solution influenced the absorbance value, intensity, crystality level and BaTiO3 thin film particle size. The greater mole of BaTiO3 solution the higher then absorbance value. The fewer then number of layers the greater then diffraction peak intensity. More number of layers the greater the level of crystallinity and particle size. Abstrak: Pembuatan lapisan tipis Barium Titanat (BaTiO3) telah dilakukan  diatas substrat Quartz menggunakan metode sol gel dengan teknik spin coating. Lapisan tipis BaTiO3 dibuat dengan variasi mol  0.4 mol dan  0.8 mol pada kecepatan putar 3000 rpm. Sampel diannealing  pada suhu 400oC dengan waktu tahan 30 menit  dan pada suhu 900oC dengan waktu tahan 2 jam dan kenaikan suhunya 5oC per menit. Karakterisasi sifat optik sampel dilakukan  menggunakan spektrometer UV-Vis dan karakterisasi struktrur mikro sampel menggunakan X-Ray Diffraction (XRD).Ukuran partikel dihitung dengan formula Scherer. Berdasarkan hasil analisis didapat bahwa variasi mol larutan mempengaruhi  mempengaruhi nilai absorbansi, intensitas, tingkat kekristalan dan ukuran partikel lapisan tipis BaTiO3. Semakin besar mol larutan BaTiO3 maka semakin tinggi nilai absorbansinya. Semakin sedikit jumlah lapisan maka intensitas puncak difraksi semakin besar. Semakin banyak jumlah lapisan maka semakin besar pula tingkat kekristalan dan ukuran partikel.