Article Per Year (5 Year)
p-Index From 2021 - 2026
0
P-Index
This Author published in this journals
All Journal JFA (Jurnal Fisika dan Aplikasinya)
Hery Saeful Azis
Institut Teknologi Bandung
Physics

Published : 1 Documents Claim Missing Document
Claim Missing Document
Check
Articles

Found 1 Documents
Search

 1 
Pengaruh Luas Kontak pada Kualitas MSM pGaSb Euis Sustini; Hery Saeful Azis; Heri Sutanto; Agus Subagyo
Jurnal Fisika dan Aplikasinya Vol 2, No 2 (2006)
Publisher : Lembaga Penelitian dan Pengabdian Kepada Masyarakat, LPPM-ITS

Show Abstract | Download Original | Original Source | Check in Google Scholar | Full PDF (127.641 KB) | DOI: 10.12962/j24604682.v2i2.987

Abstract

Dalam tulisan ini film tipis semikonduktor GaSb telah ditumbuhkan dengan metoda MOCVD vertikal pada tekanan 50 torr di atas subtsrat SI GaAs(100). Film mempunyai type p dengan permukaan yang cukup homogen serta orientasi film didominasi (200). Film yang ditumbuhkan pada temperatur 520 oC dengan rasio V/III=1 mempunyai mobilitas 68,57 cm2/Vs dan konsentrasi 1,9 x 1018 cm−3. Metal Semikonduktor Metal (MSM) Al-pGaSb telah dibuat menggunakan dua metoda, yaitu metoda sederhana evaporasi dengan luas kontak 0,02 cm2 dan metoda UV litografi dengan luas kontak 0,009 cm2. MSM bersifat ohmik kontak dengan resistansi spesifik Rc menurun terhadap luas kontak yang digunakan.
Co-Authors Agus Subagyo Euis Sustini Heri Sutanto