Article Per Year (5 Year)
p-Index From 2020 - 2025
0
P-Index
This Author published in this journals
All Journal ELECTRANS
Tjetje Gunawan
Jurusan Pendidikan Teknik Elektro FPTK Universitas Pendidikan Indonesia Jl. Dr. Setiabudhi 207 Bandung
Computer Science & IT Electrical & Electronics Engineering

Published : 1 Documents Claim Missing Document
Claim Missing Document
Check
Articles

Found 1 Documents
Search

 1 
PENGARUH PENGOTOR Co PADA STRUKTUR DAN KONDUKTIVITAS FILM TIPIS TiO2 Aip Saripudin; Tjetje Gunawan; Yuda Muladi
ELECTRANS Vol 12, No 1 (2013): Volume 12, Nomor 1, Tahun 2013
Publisher : Universitas Pendidikan Indonesia

Show Abstract | Download Original | Original Source | Check in Google Scholar

Abstract

Film tipis TiO2 (titanium dioksida) dan Co:TiO2 (titanium dioksida yang dikotori oleh atom kobal) telah ditumbuhkan di atas substrat Si(100) menggunakan teknik MOCVD (metal organik chemical vapor deposition). Film masing-masing ditumbuhkan pada suhu substrat 450oC selama 120 menit dengan tekanan kamar reaktor 2 ´ 10-3 torr. Film TiO2 dan Co:TiO2 yang dihasilkan memiliki struktur kristal tetragonal (a = b = 4,7172 Å, c = 3,0063 Å) berfase rutil dengan orientasi dominan pada (002) dan ukuran bulir rata-rata 170 nm. Permukaan film cukup halus dan merata. Berdasarkan hasil pengukuran menggunakan metode Hall van der Pauww, terjadi perbedaan konduktivitas antara film TiO2 dan Co:TiO2. 
Co-Authors Aip Saripudin Yuda Muladi