Article Per Year (5 Year)
p-Index From 2020 - 2025
0.23
P-Index
This Author published in this journals
All Journal Journal of Electrical Engineering and Computer (JEECOM)
Rahayu, Brahma Ratih
Unknown Affiliation
Control & Systems Engineering Electrical & Electronics Engineering Energy

Published : 1 Documents Claim Missing Document
Claim Missing Document
Check
Articles

Found 1 Documents
Search

 1 
Pengaruh Force dan Perubahan Dimensi Terhadap Karakteristik Microcantilever Aziz, As’ad Shidqy; Sesoca, Jendra; Rahayu, Brahma Ratih; Fitriana, Nurin
Journal of Electrical Engineering and Computer (JEECOM) Vol 6, No 1 (2024)
Publisher : Universitas Nurul Jadid

Show Abstract | Download Original | Original Source | Check in Google Scholar | DOI: 10.33650/jeecom.v6i1.8456

Abstract

Sistem mikro-elektromekanis (MEMS) adalah teknologi proses yang digunakan untuk membuat perangkat kecil perangkat atau sistem terintegrasi yang menggabungkan komponen mekanik dan listrik. Komponen tersebut dibuat menggunakan teknik pemrosesan batch sirkuit terpadu (IC) dan dapat berkisar dari beberapa mikrometer sampai milimeter. Microcantilever banyak diaplikasikan dalam sensor kimia dan biologi karena sensitifitasnya. Dalam satu dekade terakhir Microcantilever telah menjadi begitu populer karena sensitivitas yang tinggi, kemudahan dalam fabrikasi dan fleksibilitas jika diterapkan pada chipsirkuit. Juga sangat diminati karena kemudahan dalam mengkalibrasi. Metode yang digunakan dalam penelitian ini adalah mengubah force dan dimensi pada Microcantilever. Tujuan dari Penelitian ini adalah untuk mengetahui karakteristik dari sebuah Microcantilever karena karakteristik tersebut sangat dibutuhkan sebelum melakukan perancangan sebuah sensor berbasis Microcantilever. Dari hasil simulasi nilai displacement yang dihasilkan pada mikrokantilever adalah 5,31 x 10-10  mm apabila menggunakan force 4N; 6,64 x 10-10  mm apabila menggunakan force 5N; dan 7,97 x 10-10  mm  apabila menggunakan force 6N. Ketebalan pada saat perancangan  mempengaruhi frekuensi yang dihasilkan oleh mikrokantilever. ketebalan 0,75 µm menghasilkan frekuensi sebesar 0,31 MHz, ketebalan 1,5 µm menghasilkan frekuensi sebesar 0,61 MHz dan ketebalan 3 µm menghasilkan frekuensi 1,218 MHz
Co-Authors As’ad Shidqy Aziz Nurin Fitriana Sesoca, Jendra