Article Per Year (5 Year)
p-Index From 2020 - 2025
0.444
P-Index
This Author published in this journals
All Journal Jurnal Ilmu Dasar Jurnal Neutrino : jurnal fisika dan aplikasinya JURNAL FISIKA Prosiding Universitas PGRI Palembang Jurnal Matematika & Sains GRADIEN JFA (Jurnal Fisika dan Aplikasinya) Jurnal Fisika dan Terapannya
Toto Winata
Institut Teknologi Bandung
Control & Systems Engineering Mathematics Physics

Published : 22 Documents Claim Missing Document
Claim Missing Document
Check
Articles

Found 1 Documents
Search
Journal : JFA (Jurnal Fisika dan Aplikasinya)

 1 
Penumbuhan Silikon Nanowire dengan Nanokatalis Perak menggunakan Metode HWC-In Plasma-VHF-PECVD melalui Optimasi Tekanan Diky Anggoro; Toto Winata
Jurnal Fisika dan Aplikasinya Vol 10, No 2 (2014)
Publisher : Lembaga Penelitian dan Pengabdian Kepada Masyarakat, LPPM-ITS

Show Abstract | Download Original | Original Source | Check in Google Scholar | Full PDF (770.704 KB) | DOI: 10.12962/j24604682.v10i2.811

Abstract

Penelitian mengenai penumbuhan silikon nanowire (SiNW) telah dilakukan dengan mengunakan metode Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition (PECVD). Katalis yang digunakan yaitu logam perak (Ag). Penggunaan nano katalis perak dalam penelitian ini dibatasi seberat 0,025 gram. Nanokatalis perak tersebut dideposisi pada substrat gelas dengan cara evaporasi dalam keadaan vakum untuk membentuk lapisan tipisAg pada substrat. Hasil penumbuhan nanokatalis dilakukan karakterisasi SEM dan EDX dengan hasil logam perak yang di-annealing selama satu jam menghasilkan pulau-pulau Ag berukuran dominan 70-80 nm. Ag yang di-annealing selama satu jam kemudian digunakan untuk penumbuhan silikon nanowire. Sebagai gas carier digunakan gas silant SiH4 dengan precursor silikon dengan kecepatan alir 70 sccm dan daya rf 8 watt. Variasi optimasi dilakukan pada parameter tekanan 100, 200, 300 dan 400 mTorr. SEM dan EDX dilakukan untukmengkarakterisasi silikon nanowire. Dari hasil SEMdan EDX, tekanan deposisi 100 mTorr dapat menghasilkan silikon nanowire dengan rasio penumbuhan yang tinggi. Diameter silikon nanowire diperoleh 70-120 nm dan panjang silikon nanowire 200-5000 nm.
Co-Authors Agus Kartono Altje Latununuwe Amiruddin Supu Andhy Setiawan Aulia Fikri Hidayat Darsikin Darsikin Diky Anggoro Endhah Purwandari Fatimah A. Noor Fatimah Arofiati Noor Fitri Suryani Arsyad Hasniah Aliah I Wayan Sukarjita Ida Usman Inge M. Sutjahja Iqbal Iqbal Jasruddin Daud Malago Jusman Jusman Kurniati Abidin Kurniati Abidin, Kurniati Laksono Trisnantoro M. Barmawi Mohamad Barmawi Muhammady, Shibghatullah Mursal Mursal Patricia Lubis, Patricia Ridwan Abdullah Sani Setiawan, Freddy Giovanni Sukirno Sukirno Syamsu Syamsu