Article Per Year (5 Year)
p-Index From 2020 - 2025
0.23
P-Index
This Author published in this journals
All Journal Jurnal Ilmu Dasar JURNAL FISIKA Prosiding Universitas PGRI Palembang Jurnal Matematika & Sains GRADIEN JFA (Jurnal Fisika dan Aplikasinya) Jurnal Fisika dan Terapannya
Toto Winata
Institut Teknologi Bandung
Control & Systems Engineering Mathematics Physics

Published : 21 Documents Claim Missing Document
Claim Missing Document
Check
Articles

Found 21 Documents
Search

 1   2   3 
Investigasi Pengaruh Daya RF terhadap Morfologi Silicon Nanowire pada Penumbuhan dengan Metode PECVD Hidayat, Aulia Fikri; Winata, Toto
Jurnal Fisika Vol 9, No 1 (2019)
Publisher : Universitas Negeri Semarang

Show Abstract | Download Original | Original Source | Check in Google Scholar | DOI: 10.15294/jf.v9i1.18811

Abstract

Silicon nanowire (SiNW) merupakan material berstruktur nano yang pemanfaatannya cukup luas, diantaranya yaitu sebagai material divais elektronik, sebagai material biosensor, dan sebagai sistem pembawa obat. Penumbuhan SiNW salah satunya dapat dilakukan dengan metode PECVD (plasma-enhanced chemical vapor deposition). Nikel digunakan sebagai katalis dalam penumbuhan SiNW pada penelitian ini. Lapisan tipis nikel diberi perlakuan annealing pada suhu 600°C selama 6 jam untuk memperoleh butiran nikel sebagai pemandu tumbuhnya nanowire. Penumbuhan SiNW dilakukan dengan metode PECVD dengan memvariasikan daya frekuensi radio (RF) reaktor sebesar 8 watt, 10 watt, dan 20 watt. Diameter rata-rata untuk daya 8 watt, 10 watt, dan 20 watt berturut-turut adalah 1143,17 nm; 1490,27 nm; dan 2605,26 nm. Morfologi permukaan dilihat dengan pencitraan scanning electron microscope (SEM). Rasio aspek wire dengan daya RF penumbuhan 8 watt, 10 watt, dan 20 watt diinvestigasi dengan pencitraan SEM penampang lintang dengan hasil berturut-turut sebesar 23,3; 3,13; dan 0,33.
Co-Authors Agus Kartono Altje Latununuwe Amiruddin Supu Andhy Setiawan Aulia Fikri Hidayat Darsikin Darsikin Diky Anggoro Endhah Purwandari Fatimah Arofiati Noor Fitri Suryani Arsyad Hasniah Aliah I Wayan Sukarjita Ida Usman Inge M. Sutjahja Iqbal Iqbal Jasruddin Daud Malago Jusman Jusman Kurniati Abidin Laksono Trisnantoro M. Barmawi Mohamad Barmawi Muhammady, Shibghatullah Mursal Mursal Patricia Lubis, Patricia Ridwan Abdullah Sani Setiawan, Freddy Giovanni Sukirno Sukirno Syamsu Syamsu