Claim Missing Document
Check
Articles

Found 1 Documents
Search
Journal : JURNAL FISIKA

Efek Doping Co Pada Konstanta Kisi Film Tipis polikristal TiO2 yang Dideposisikan dengan Teknik MOCVD Aip Saripudin
Jurnal Fisika Vol 5, No 2 (2015)
Publisher : Universitas Negeri Semarang

Show Abstract | Download Original | Original Source | Check in Google Scholar | DOI: 10.15294/jf.v5i2.7408

Abstract

Pendeposisian sejumlah film tipis Co:TiO2 telah selesai dilakukan. Film dideposisikan pada substrat Si(100) tipe-n menggunakan teknik MOCVD. Konsentrasi doping Co bervariasi dari 0,1 % sampai dengan 1,1 %. Penelitian ini difokuskan pada efek doping Co pada konstanta kisi film tipis polikristal TiO2. Hasil penelitian menunjukkan bahwa pemberian doping Co pada film TiO2 menyebabkan penyusutan konstanta kisi film tersebut.