Claim Missing Document
Check
Articles

Found 1 Documents
Search
Journal : Jurnal Fisika FLUX

Studi Penumbuhan Grafena pada Temperatur Rendah Menggunakan Metode Hotwire-Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Jasruddin Jasruddin; Andi Momang Yusuf; Sulistiawaty Sulistiawaty
Jurnal Fisika Flux: Jurnal Ilmiah Fisika FMIPA Universitas Lambung Mangkurat Vol 21, No 3 (2024): Jurnal Fisika Flux: Jurnal Ilmiah Fisika FMIPA Universitas Lambung Mangkurat
Publisher : Lambung Mangkurat University Press

Show Abstract | Download Original | Original Source | Check in Google Scholar | DOI: 10.20527/flux.v21i3.19279

Abstract

Dalam penelitian ini, telah dilakukan penumbuhan grafena dengan menggunakan metode Hotwire-Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (HW-PECVD). Metode ini merupakan metode kombinasi antara metode PECVD konvensional dan metode CVD termal dengan menambahkan elemen hot-wire. Plasma dibangkitkan dengan menggunakan frekuensi radio pada spektrum Very High Frequency (VHF) sebesar 70 MHz. Sampel grafena ditumbuhkan di atas substrat kaca SiO2 yang telah dilapisi lapisan katalis nikel dengan temperatur penumbuhan 300°C. Grafena yang dihasilkan dianalisis dengan menggunakan spektroskopi Raman. Spektrum Raman sampel menunjukkan bahwa sampel yang dihasilkan telah mengandung struktur grafitik yang ditunjukkan oleh keberadaan pita G yang tajam, disertai dengan pita D yang menunjukkan bahwa sampel tersebut juga mengandung sejumlah cacat pada struktur grafitiknya. Sementara itu, pita 2D yang tampak dalam spektra Raman masih relatif lemah yang memberi indikasi kualitas sampel yang buruk, mengandung banyak cacat, dan berukuran nanokristalin. Walaupun demikian, hasil ini menunjukkan adanya potensi besar untuk dapat menumbuhkan grafena pada temperatur rendah melalui metode HW-PECVD yang digunakan melalui optimasi parameter-parameter penumbuhan lebih lanjut seperti tekanan penumbuhan dan laju alir gas sumber termasuk mengoptimasi ketebalan lapisan katalis nikelnya.
Co-Authors A. A, Arie A. Momang Yusuf Abdul Haris Adi Prasetyo Agus Susanto Ahmad Saban ahmad yani Al Irsyad Anak Agung Gede Sugianthara Andi Asmawati Azis Andika Isma Anggraeni, Rayi Putri Arizka Asmita Ashari, Hilda Asma Darmawan, Fitrah Asmita, Arizka Asnaeni Ansar Ayu Hardianti Pratiwi Bakri, Hasrul Butuni, Syarif Darmawan, Fitrah Asma Daud Mahande, Ridwan Della Fadhilatunisa Eko Hadi Sujiono Fatimah A. Noor Fatimah Arofiati Noor Fauziah Fitrah Asma Darmawan Haeruddin, Hasriani Hafsah Hafsah Hari Triwibowo Hariansah, Agusmin Harlina Harlina Harpina, Harpina Hasan, Nurhikmah Helmi Helmi Heri Rahmat Suryadi Hi Panu, Rasmi Hidayah Quraisy, Hidayah Humairah Mustaqim Asma Husain Husain Ida Ayu Putu Sri Widnyani Irmawati Amir Jasmin Daud, Jasmin Jasmin, Jasmin Kaharuddin Arafah Khaeruddin, Khaeruddin Kurniati Abidin Kurniati Abidin, Kurniati Labusab, Labusab M. A. Martawijaya Mappangara, Surianto MARIA BINTANG Masni Masni Muh. Saleh Muhammad Arsyad Muhammad Ayat Hidayat Muris Muris Musgamy, Hijrah K. Mutahharah Hasyim, Mutahharah Nasib Nasir Nasir Nasrul Ihsan Noviyanti Noviyanti, Noviyanti Nur Afrianah Nur Igawati Nurafni Oktaviyah Nurhaisa Nurhaisa Oktaviana Beferly Mapau Oky Nur Pratiwi Johansyah P, Adi P, Pariabti Pariabti Palloan Pariabti, Palloan Rabiah Rabiah Resky Irfanita Richard Richard Ridwan Daud Mahande Riskawati Riskawati, Riskawati Saragih, Rino Wijatmiko Setialaksana, Wirawan - Subaer - Subaer Subaer Subaer Subaer Sukmawati Sukmawati Sulistiawaty Sulistiawaty Syamsul Arifin Taqwin, Muhammad Toto Winata Triwibowo, Hari Vistarani Arini Tiwow Wahyu Hidayat Zulfikar Putra Zulfikar, Muh. Ihsan